中敏IKO直线电机NT

IKO纳米直线电机NT在钢制可动工作台部配置了磁铁和光学式线性编码器用光栅尺，在钢制底座上配置了定子线圈、线性编码器用读取头等，是磁动方式的直线电机工作台。工作台的导向部采用小型直线导轨领域评价颇高的IKO直线导轨，通过搭配直线电机和高分解能线性编码器，实现了高精度定位。通过采用高性能钕磁石，可获得大推力，虽然是较小型，也可实现高速、高响应性定位。而且通过采用没有电缆的划时代驱动方式，机械接触部分只有直线导轨，实现了高洁净度。纳米直线电机NT适合用作半导体及液晶相关制造装置、需要洁净环境的检查装置和电子零件组装装置等设备的紧凑型机构。
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